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超纯水设备基本维护更换过滤柱

文章来源:唐山水处理公司 责任编辑:唐山水处理工程师发表时间:2017-07-12 16:55

  超纯水的产生应用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等,这些行业多是要求极多的行业,对于维护也是必要的一点。

  1) 将设备器调节为STANDBY”状态,卸下终端过滤器,打开取水开关,将系统卸压,待确认设备器无水流出后,关闭取水开关。

  2) 向左轻扳设备器正面蓝色门的锁片(上下各一片),打开蓝门,将“QUANTUM”柱取出,再将设备器右侧白色“QGARD”柱上端盖子打开,取下金属锁片,即可取出“QGARD”柱。

  3) 将新的“QGARD”柱装到设备器上,注意设备器上的金属杆要对准柱子上的孔,向左推紧后,将金属锁片锁在金属杆的卡槽内,扣上顶端盖子;再将新的“QUANTUM”柱装入蓝门内,稍用力向里推紧,关闭蓝门,需听到两个锁片“嗒”的声音后,才能确认柱子已装到位。

超纯水设备

  4) 将附件中的管子接头拧入取水柄中,接上软管引到水槽里;打开取水开关,系统会自动进入5分钟的排空气程序中,5分钟结束后,系统会自动进入“OPERATE”状态。

  5) 卸下管子接头及软管,装上终端过滤器;注意过滤器上的空气帽不要拧紧,打开取水开关,待水从空气帽中流出后,再拧紧空气帽。

  6) 柱子更换完毕,将系统在“OPERATE”状态下过12小时以上,便可正常使用

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